结构分析、材料表征、三维重构、材料转移等，该系统可适用于横截面和断层扫描，3D分析，TEM样品制备及纳米图形加工;
用途及功能：
1.定点剖面形貌和成分表征
2. TEM样品制备
3. 微纳结构加工
4.切片式三维重构
5.三维原子探针样品制备
1.FIB切透射样品：块体样品表面最好抛光;最佳尺寸：1cm*1cm*0.1cm，粉末颗粒的尺寸至少在5微米左右;透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射;
2.FIB切SEM样品：如果是颗粒的话颗粒尺寸直径大于1微米;如果是块体的话尺寸最好小于1cm*1cm;
3.特别注意：样品尺寸及制样要求提前发技术顾问确认;样品中有磁性元素也可制样测试;备注下样品的导电性，若导电性较差，会对样品喷金;计时收费一般为FIB+SEM测试;透射制样一般为按样品收费;