三维原子探针(3DAP)是在场离子显微镜 (FIM)基础上发展起来的一种分析技术，在FIM样品尖端叠加脉冲电压使原子电离并蒸发，用飞行时间质谱仪测定离子的质量/电荷比来确定该离子的种类，用位置敏感探头确定原子的位置。
样品尺寸没有具体要求，需使用FIB制样;最优制样尺寸：长宽在10mm，高度在1-2mm，最好不要超过4mm;由于制样后样品在运输过程中容易损坏且易发生氧化等变质，建议寄送原始样品，由本平台制样后测试;