动态二次离子质谱(D-SIMS)是利用高能量、高密度离子束对材料进行层层剥离，同时检测在不同深度下的二次离子信息，从而动态地剖析材料的元素在三维空间的分布情况。
常规样品尺寸最好为7*7mm左右大小，两面平整，测试面抛光，标注好测试面。其他尺寸也可以测试，大于7*7mm需要裂片，裂片不收费，小于5mm需要收取制样费。
定量分析掺杂元素和杂质元素的浓度，薄膜的成分和厚度等，广泛应用于半导体材料的成分测定，用于制造工艺的校正，有助于提高产品良率。